等離子清洗機技術(shù)特點：

1. 艙體、管路、閥體全部為不銹鋼材料，耐用、防腐容易清潔。
2. 儀器實現(xiàn)了手動，自動兩種模式任意切換的工作方式，方便用戶實驗
3. 儀器實現(xiàn)了程序化設(shè)計，預(yù)先編輯好程序，儀器可以自動完成實驗
4. 無需任何耗材使用成本低，無需特殊進(jìn)行維護(hù),日常使用保持儀器清潔即可
5. 電容式等離子激發(fā)，處理效果均勻，激發(fā)電極板內(nèi)置樣品倉內(nèi)頂部懸掛
6. 密閉真空環(huán)境下完成實驗避免二次污染
7. 40Khz射頻電源,自主研發(fā)質(zhì)量穩(wěn)定可靠，具有自動保護(hù)功能。
8. 靈活的參數(shù)設(shè)置和修改功能，可適應(yīng)多種處理工藝。
9. 采用皮拉尼真空技術(shù)，實時檢測和顯示樣品倉的真實真空度，具有1Pa的真空分辨率，能夠方便的接入MFC氣體流量控制儀，實現(xiàn)對氣體流量和真空度的精準(zhǔn)控制和監(jiān)測。

10. LED+金屬按鍵控制方式，操作方便穩(wěn)定可靠。

科研用等離子蝕刻機主要用于以下實驗：
1、材料清潔和活化
2、等離子涂鍍聚合
3、有機物去除
4、鍵合
5、等離子去膠
6、金屬還原
7、表面刻蝕
8、材料老化實驗
9、改變親水性/疏水性 
10、灰化表面有機層 

腔體材質(zhì)：? ? 石英
供電電源： AC220V
工作電流： 整機工作電流不大于1.2A(不含真空泵)
射頻電源功率： 0-200W可調(diào)
射頻頻率： 20.0MHz（偏移量小于0.2KHz）
頻率偏移量： 小于0.2KHz
特性阻抗： 50歐姆，自動匹配
真空度： 1pa-30Pa
氣體路數(shù)： 雙路氣體輸入
氣體流量： 10—160ml/min(可調(diào))
過程控制： PLC人機界面自動與手動方式
清洗時間： 1-99999秒鐘可調(diào)
功率大小 10%-100%可調(diào)
內(nèi)腔尺寸 直徑150mm×270mm PT-5SM 容量5L
外形尺寸： PT-5SM型_600mmx500x480mm
重量： 45Kg
真空泵： 抽速4L/S?
真空室溫度： 小于30°C
冷卻方式： 強制風(fēng)冷

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